Pengawal pemotong plasma terutamanya terdiri daripada komponen berikut:
Sumber kuasa frekuensi tinggi-: Digunakan untuk menjana-medan elektrik frekuensi tinggi;
Rangkaian pemadanan: Digunakan untuk melaraskan pengagihan medan elektrik frekuensi tinggi-dalam ruang plasma;
Ruang plasma: Digunakan untuk mengionkan molekul gas dan menjana plasma;
Sistem vakum: Memastikan tahap vakum dan kestabilan ruang plasma;
Sistem kawalan: Digunakan untuk mengawal parameter plasma dan mencapai kawalan stabil sifat elektrik plasma.
